電子半導(dǎo)體石墨是一種在電子和半導(dǎo)體行業(yè)中具有廣泛應(yīng)用前景的石墨材料。通過對傳統(tǒng)石墨進行改性處理,使其具備了半導(dǎo)體特性的一類材料。這種改性處理使得石墨在保持原有優(yōu)良導(dǎo)電性能的基礎(chǔ)上,又具備了與傳統(tǒng)半導(dǎo)體相似的導(dǎo)電和導(dǎo)熱特性,從而在電子器件中能夠發(fā)揮重要作用。
1、防護措施:
防塵防吸入:石墨具有極細的顆粒,容易懸浮在空氣中并被吸入呼吸道,對人體健康產(chǎn)生影響。因此,操作時應(yīng)戴上合適的防護口罩和手套,防止石墨粉塵進入呼吸道和皮膚。
避免直接接觸導(dǎo)電體:石墨具有高的導(dǎo)電性,與金屬或其他導(dǎo)電材料接觸時可能導(dǎo)致電路短路或觸電危險。在處理石墨時應(yīng)特別注意避免直接接觸導(dǎo)電體,并在操作臺面上鋪設(shè)絕緣材料。
2、工作環(huán)境及加工要求:
良好的工作環(huán)境:減少碰撞,保持工作環(huán)境清潔,定時檢查電路,在最佳溫度下組織出產(chǎn),減少空氣對石墨的氧化程度等,有助于延長石墨板的使用壽命。
加工質(zhì)量:加工必須仔細,達到規(guī)范目標(biāo),比如浸漬要均勻,使電阻率基本保持一致,避免生產(chǎn)過程中出現(xiàn)部分完好而部分腐蝕嚴重的情況,從而減少浪費。
3、高溫下的注意事項:
有害氣體釋放:石墨在高溫情況下可能會釋放出有害氣體,如一氧化碳和二氧化碳等,因此在加工石墨時應(yīng)特別注意通風(fēng)換氣,以減少有害氣體對人體的影響。
4、高純度要求:
在半導(dǎo)體制造中,高純度是關(guān)鍵要求。高純石墨部件廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶體生長、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。石墨中的雜質(zhì)含量應(yīng)保持在百萬分之五以下,以滿足半導(dǎo)體制造的高純度需求。
5、特殊性能的應(yīng)用:
耐高溫:石墨融點和沸點都很高,熱膨脹系數(shù)小,強度隨溫度升高而加強。在半導(dǎo)體制造的高溫環(huán)境下,石墨能保持良好的性能。
導(dǎo)電導(dǎo)熱性:石墨具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,超過鋼、鐵、鉛等金屬材料,在半導(dǎo)體制造中的加熱器、坩堝等部件中有重要應(yīng)用。
化學(xué)穩(wěn)定性:常溫下石墨有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,能耐酸、耐堿和耐有機溶劑的腐蝕,適用于半導(dǎo)體制造中的多種工藝環(huán)境。
6、存儲與運輸:
防潮防破損:石墨材料應(yīng)儲存在干燥、陰涼的地方,遠離火源和熱源,避免陽光直射。同時,要注意防止石墨材料的包裝破損,以免影響其質(zhì)量。